半導体先端プロセスを支える位置決めエンコーダ
弊社主催のウェビナー「 半導体先端プロセスを支える位置決めエンコーダ 」を 2026 年 6 月 16 日（火）に開催することとなりましたので、ご案内申し上げます。
ビデオ会議ツール「Marketo インタラクティブウェビナー」を使用して実施いたします。
万障お繰り合わせの上、ご参加くださいますようお願いいたします。
主 題： 半導体先端プロセスを支える位置決めエンコーダ
日 時： 2026 年 6 月 16 日（火） 11:00 - 11:30
会 場： Marketo インタラクティブウェビナー
費 用： 無料
定 員： 300 名（事前登録制）
聴講をご希望の方は、事前に視聴登録からお申し込みを行ってください。
聴講者枠数に限りがございますので、お早めのお申込みをお願いします。
※ 本ウェブページは、上司・同僚・お取引先の方にご転送いただけます。
※ 同業他社である場合は参加をご遠慮願う場合があります。
将来世代を見据えた設計のヒント
半導体先端プロセスの進化に伴い、製造装置にはこれまで以上に高い位置決め精度、繰返し精度、そして長期安定性が求められています。
一方で、装置構造や使用環境、プロセス要件の高度化により、標準的な位置決めソリューションでは対応しきれない課題が顕在化しているのも事実です。
本ウェビナーでは、「7つの特注開発事例から解説する 半導体先端プロセスを支える位置決めソリューション」をテーマに、半導体製造装置向けに実際に特注で開発されたエンコーダ事例を取り上げます。
各アプリケーションごとに、
・装置メーカーやエンドユーザが直面していた具体的な課題
・なぜ標準エンコーダでは対応できなかったのか
・どのような技術的工夫
・設計判断によって解決したのか
を整理しながら、1.5Dスケール、パーシャルアークスケール、デュアルヘッドスケールといった実際に採用されたソリューションを交えて解説します。 先端プロセスへの対応、装置性能の安定化、将来世代を見据えた設計のヒントを得ていただくウェビナーです。
▼ こんな方におすすめ
・半導体製造装置メーカーの機械設計
・制御設計エンジニア
・先端プロセス対応装置の要素技術
・先行開発担当者
・標準エンコーダの限界を感じている装置設計者
・高精度、高信頼性が要求される位置決め系を担当している方
・特注エンコーダ開発の実例や判断軸を知りたい方