編碼器在精密平台中的應用
半導體製程中的關鍵設備包括：
- 光刻雙晶圓台
- 晶圓鍵合與雷射退火系統
- 設備前端模組（EFEM）
精準位置感應：高解析度編碼器
- 半導體焊線（Wire bonding）
- 光罩對位（Mask alignment）
- 晶粒貼合（Die placement）
閉迴路控制：可靠的即時運動回饋
此即時回饋機制可確保：
- 更精準的晶圓與光罩對位
- 大幅減少定位誤差
- 提升整體生產效率及製程穩定性
高精度：半導體製程中的關鍵
- 光刻（Photolithography）：對覆蓋精度高度敏感
- 光學測試設備：要求穩定且可重複的對位能力
- 奈米技術研究：需進行多軸、超高精度控制
- 半導體封裝後段製程（如焊線、打線接合）
➤ 為何精密平台首選 VIONiC™ 編碼器?
- 2.5 nm 超高解析度，支援極細微運動控制
- 優異的重複性，提升定位一致性
- 超小型設計，適用於設備空間受限的半導體設備
運動分析：可控的運動曲線
光刻製程可在半導體與電腦晶片製造過程中於晶圓上形成複雜的微細圖案- 平穩啟動與停止，保護敏感工件
- 各製程步驟之間的平順轉換，提高生產一致性
- 減少振動與磨耗，延長設備使用壽命
多軸系統同步：絕對式回饋帶來的優勢
多軸系統廣泛應用於各種高精度領域，例如機械手臂的多自由度運動控制、光學平台的多軸定位調整以及半導體製造設備的複雜對位操作。這些應用都依賴於多軸系統的高精度和高可靠性，以確保操作的成功和產品的質量。在多軸系統中，編碼器提供即時的運動數據，幫助控制器進行精確調整。
➤ 為什麼 RESOLUTE™ 絕對式光學尺是多軸控制的理想選擇？
- 高速下仍能保持穩定的速度控制
- 多軸平台之間的精準同步
- 提升重要製程（如光刻、晶粒貼合）中的可靠性
不確定哪一款最適合您的應用嗎？
為精密平台選擇編碼器系統時需要考慮哪些因素？
性能
✔ 光學尺精度
✔ 光學尺線性度
✔ 解析度
✔ 電子細分誤差
✔ 軸長
✔ 柵尺熱膨脹係數
✔ 速度
✔ 控制器輸入頻率
✔ 電纜撓曲壽命
✔ 電纜撓曲半徑
環境
✔ 溫度
✔ 濕度
✔ 振動
✔ IP 防護等級
✔ 清潔度（微粒、液體）
✔ 真空/X 光輻射暴露/光照
✔ 電磁相容性 (EMC)
安裝
✔ 尺寸
✔ 間隙公差
✔ 扭擺/俯仰/滾擺
✔ 連接器
✔ 延長電纜
✔ 讀頭行程方向
✔ 頂部或側面安裝
✔ 基體類型
✔ 安裝方式 — 粘貼/導軌/端部固定/環氧樹脂或螺釘安裝
✔ 參考基準
✔ 限值
其他
✔ 類比/數位
✔ 細分時脈頻率
✔ 報警類型
✔ 參考限值
✔ 序列介面協議
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半導體 — 全球領先製造商
ASMPT 是為半導體行業提供晶圓組裝和封裝設備的全球領先供應商，設備以高精度和穩定性著稱。他們致力於開發先進的半導體組裝和封裝設備，以及提供全面的工業自動化方案。
光學尺不僅需要以更高的解析度高速移動，還需要在停止時保持穩定，即低訊號抖動。
這對控制器和光學尺來說都是一大挑戰，我們從來沒有懷疑過 Renishaw 的實力，相信未來他們能夠為我們提供合適的光學尺產品。
ASMPT（新加坡）
在當今半導體產業的奈米級別發展下，後段製程設備面臨著精度、生產力和穩定性等巨大挑戰。作為運動控制中至關重要的原件之一，光學尺需要不斷更新技術並推出新產品，以滿足市場的嚴苛要求。
在購買光學尺產品時，必須要考慮的關鍵規格包括速度，抖動，光學尺的尺寸，和安全合規性。
ASMPT 多年來採用多款 Renishaw 的光學尺產品，從 RGH 到 RESOLUTE 系列，再到近期的 ATOM DX 微型系列和 VIONiC 高性能系列等，應用在不同階段的後段製程設備上。
其中包括 ASMPT 的 INFINITE，即一款 12 英寸的晶片鍵合機，專為一般 IC（積體電路）封裝而設計。這款先進的系統擁有創新特徵，如精確的點膠控制以及量測鍵合線厚度達微米級精度的檢測功能。
半導體核心設備 — 贏得市場競爭優勢
北京華卓精科科技股份有限公司（華卓精科）是中國國內從事精密製程核心裝備的領先者。他們開發的半導體設備和運動平台大多採用 Renishaw 高性能光學尺系統。
華卓精科的精密運動平台以直線電機驅動，配置 Renishaw TONiC 系列等光學尺系統，通過 Ti 介面輸出奈米級解析度訊號。除了半導體製程應用，平台也設計用於顯示面板、玻璃切割、三維成像等等。
Renishaw TONiC™ 增量式光學尺是專為半導體應用而設計的。其動態訊號處理功能可提高訊號穩定性，而且電子細分誤差更低於 ± 30 nm，為華卓精科等原始設備製造商 (OEM) 帶來了市場競爭優勢。
Renishaw 光學尺產品的多樣性和穩定性能是重要因素，規格也十分貼近市場需求，與華卓精度的產品定位十分匹配。
北京華卓精科科技股份有限公司（中國）
精密運動平台 — 用於真空環境的光學尺
Renishaw TONiC™ UHV 超高真空光學尺系列從讀頭、電纜到尺都經過專門設計，真空壓力高達 10-10 托（Torr），能夠滿足 FPD 和半導體製程設備的嚴苛要求。
VAD Instrument 公司製造各種精密運動平台，在半導體、FPD 和電子應用領域的真空環境中使用。該公司在其真空相容平台中採用了 TONiC™ UHV 光學尺和 RLE 光纖雷射尺。
Renishaw 的光學尺產品在市場上都有良好的口碑，而 TONiC™ 系列更是在高端設備上常見的應用，早已得到市場廣泛認可。
VAD Instrument（韓國）
用於半導體製程的真空平台Heading 5
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直驅馬達 — OEM 實現創新贏得客戶訂單
JUSTEK Inc. 是韓國的一家領先市場的運動控制零組件製造商。該公司設計和製造線性馬達、直驅旋轉馬達、運動平台和傳送帶等。JUSTEK 為其直驅馬達和運動平台選用了 Renishaw ATOM™ 微型光學尺系列。
「ATOM™ 讀頭的微型設計十分適合我們的直驅馬達，馬達內部的空間非常有限。經過反覆測試後，我們發現 ATOM™ 無論在穩定性、體積和性能方面都具有優勢。」JUSTEK 銷售經理解釋。
Renishaw 在工業量測領域具有極高的聲譽，多年來一直為我們的產品把關。
Renishaw 為我們客製了一款可提供非標準解析度的光學尺，讓我們的客戶可無縫連接到原有的控制器上，為我們提供了一個贏得訂單的完美解決方案。
JUSTEK Inc.（韓國）
ATOM™ 系列是 Renishaw 光學尺家族中的微型型號，讀頭尺寸僅 7.3 x 20.5 x 12.7 mm。它是市場上少見的一款兼具微型化設計與優異的訊號穩定性、抗汙性和可靠性的光學尺。
JUSTEK 採用的 Renishaw 光學尺產品包括：
• 適用於直驅馬達和運動平台的 ATOM™ 微型光學尺系列。
• 適用於 OLED 面板檢測設備的 TONiC™ 增量式光學尺系列。
• 適用於 OLED 面板噴墨印刷設備的 RESOLUTE™ 絕對式光學尺系列。
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